石英管式微波等离子体装FM-CVD

的详细介绍

（一）主要配置：

1、微波频率2.45GHz；足额功率0～500W（基本型）或0～1000W（升级型）连续可调，阳*压、阳极电流足额显示；

2、Φ50mm（基本型）或Φ90mm（升级型）石英管真空室，有一个观察窗和一个诊断窗；

3、石英管采用制冷循环水冷却，保证装置安全运行。

4、配有真空测量及控制阀门系统；3路工作气体流量控制；

（二）典型实验：

1、等离子体化学气相沉积。A（气）+B（气）→C（固）+D（气）。

反应气体A、B被激发为等离子状态，其活性基团发生反应生成所需要的固态物沉积在基片上，可广泛用于薄膜或纳米材料的合成。如金刚石薄膜、碳纳米材料等。

2、等离子体表面刻蚀。A（气）+B（固）→C（气）。反应气体A被激发为等离子体状态与固体B表面原子发生反应生成气态物C，可用于集成电路的刻蚀实验。

3、等离子体催化反应。等离子体中具有丰富的活性成分，如紫外和可见光子、电子、离子、自由基，高反应性的中性成分如活性原子、受激原子态，从而可以引发在常规化学中不能或很难实现的化学反应。

4、等离子体表面改性。A（气）+B（固）→C（固）。反应气体A被激发为等离子体状态，与固体B表面发生反应，生成新的化合物，从而达到改变B物质表面性质的目的。广泛用于高分子材料、金属材料、生物医用材料的表面改性。

（三）产品特色：

1、 微波系统设计严谨，加工精良，运行时微波准零泄漏，确保使用者人身安全；

2、 微波功率充足，等离子效应强劲，作用效果良好；阳极电压电流足额显示。

3、 样品台升降架精巧豪华，方便调谐和样品取放；

4、 样品台可加热或冷却，有利于控制反应过程。

5、制冷循环水系统践行环保理念，避免用长流水费水扰民。

6、循环水机可联机使用、可独立使用，提高了投资效益；

7、缺水时启动高压或正常工作时断水，系统会断电并报警；

8、真空泵排气口接有油雾过滤器，保护环境；

9、电控系统功能完善、操作灵便、指示醒目；

10、整机造型典雅大气。

（四）辅助设备与耗材（主要由客户另购）：

超声清洗机、1000×金相显微镜；硅片、金刚石微粉、氢气、甲烷、甲 / 乙醇、玻璃基衬底的碳膜、模板、石英管 / 板等。

石英管式微波等离子体装FM-CVD

（五）特殊配置（客户提出要求,本厂设计制作,费用双方协商）：

1、异型基片台（样品台）

2、上置疹断探针（带透明观察窗）

3、可加热可测温的基片台——可水冷可

出接线端子的基片台支柱——宽行程

精巧豪华升降架——下法兰（总成）

4、基片台加热及温度测控仪

5、可水冷的基片台（带升降架总成）

6、光学镜头（用于联接光谱仪、光度计等）

7、客户提出需求的其它配置